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When a system is brought from the atmospheric pressure to "high vacuum", the gas in the system goes through all these states. The mean free path of the gas molecules is very small at atmospheric pressure so that the flow of the gas is limited by its viscosity. At low pressures where the mean free path of the mole­cules is similar to the dimensions of the vacuum enclosure, the flow of the gas is governed by viscosity as well as by molecular phenomena; this is the intermediate flow. At very low pressures where the mean free path is much larger than the dimensions of the vacuum enclosure, the flow is molecular.¡vð'  Òw ¦ ðÔÐððÅ¢ ðt “ ðLï€ð²G…¿¿ÿ?€Ã¿Text Box 6ðW¦Në ðIŸ¨!Viscous > 10-4 Molecular < 10-6¦ ðÔÐððH ðt ƒ ð0�ƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿîìáI}O�½ÀPMÿ€€ˆ8Š0º___PPT10‹ë.È4Æ0¥�ëîï € 0 �ðy0ð Œðð( ð ðŒðóðF ð  @ f  ðŒ ðˆðp€‰ðf² ðŒ C ð6€€AÁapplication 35ð  @ f ð/ðN ðÒä   ðŒ ðˆðÒä  𥢠ðŒ ƒ ð0€èQG¿�ƒ¿ÀÿðÒ°® ð=Ÿ¨Inlet¡ 2cÿÿ𦢠ðŒ ƒ ð0€L>¿�ƒ¿Àÿð�C ¡  ð>Ÿ¨Outlet¡ 2cÿÿðµ¢ ð Œ “ ð6€l>¿�ƒ¿Àÿð¢û< í ðGŸ¨Rotation blades¡ 2cÿÿð¹¢ ð Œ “ ð6€È>¿�ƒ¿Àÿð¢ä {  ðKŸ¨Non-Rotation blades¡ 2cÿÿðº² ð Œ ³ ð’€û¿AÁ?¿ÿ?€Ã�ÿcompound turboPicture 7compound turboðØ ð¶ ð\² ð Œ C ð4AÁ�Ã15-148829505ðwq  ðXÒ ðŒ ƒ ð0…‡�ƒ¿Àÿðè-”  ðXÒ ðŒ ƒ ð0…‡�ƒ¿Àÿðf 3 š˜ðH ðŒ ƒ ð0�ƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿîìáI}O�½ÀPMÿ€€ˆ8Š0º___PPT10‹ë.€ôͰûàî¡ï € 0 ð Àðpð¡ð( ð ðpðÞ² ðp C ð¶AÁL�ÃR661px-Turbo_pump_schematic-2011-05-02File:Turbo pump schematic-2011-05-02.gifð,òв ðƒ ðp “ ð6€œ˜G¿�ƒ¿ÀÿðF �<; ðŸ¨ËAs the gas molecules enter through the inlet, the rotor, which has a number of angled blades, hits the molecules. Thus the mechanical energy of the blades is transferred to the gas molecules. With this newly acquired momentum, the gas molecules enter into the gas transfer holes in the stator. This leads them to the next stage where they again collide with the rotor surface, and this process is continued, finally leading them outwards through the exhaust.¡ÌÌaÿÿªËðH ðp ƒ ð0�ƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿîìáI}O�½ÀPMÿ€€ˆ8Š0º___PPT10‹ë.{ôͰ’Ìîïï € 0 _ðWàðxðïð( ð ðxð· ðx “ ð6€X~g¿�ƒ¿ÀÿðM'ïB ðQŸ¨ßTurbo pumps have advantages over diffusion pumps: no back-stream oil into the vacuum system at any time can be started and stopped in a few minuets - can be directly connected to the chamber without a high vacuum valve. ¡B3d�-I3aÿÿ­aÿÿª à ðH ðx ƒ ð0�ƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿîìáI}O�½ÀPMÿ€€ˆ8Š0º___PPT10‹ë.}ôÍÀäÞDîMï€ 0 dð\ðð|ðôð( ð ð|ðº ð|  ð~]>�0e‚˜²ƒ0e„˜²…‡ˆ¿ÿ?€Ãˆ¿Rectangle 2"ñv©ƒpPK!Zãfþâ[Content_Types].xml”‘MOÄ †ï&þ2WÓR=cJ÷`õ¨F×0�iK¶Â`Ýý÷Òý¸×Ä#̼ÏûêÕvÅL‘­w ®Ë 9í�u½‚�õSq‚:ƒ£w¤`G «æò¢^ï±ÈiÇ †”½”¬š�KÈåIçã„)c/ê ö$oªêVjï¹T¤…MÝR‡Ÿc�Û|}0‰42ˆ‡ÃâÒ¥C­Æ”MåìÌ�–âØPæä~‡ø*k€üµa™œ/8æ^òÓDkH¼bLÏ8e i"Kã¿\¤¹ü²XN\ø®³šÊ6r›co4Ÿ¬ÎÑyÀ@ý_üû’;Áåþ‡šoÿÿPK!1Ý_aÒ� _rels/.rels¤�ÁjÃ0 †ïƒ½ƒÑ½qÚC£No…^K» [ILcËX&mß¾¦0XFo;êú>ñïö·0©™²xŽÖM Š¢eçã`àë|X}€’‚ÑáÄ‘ ÜI`ß½¿íN4a©G2ú$ªR¢KIŸZ‹) 4œ(ÖMÏ9`©ctB{Á�ô¦m·:ÿf@·`ª£3��nê|OÕü‡¼Í,Ü—ÆrÐÜ÷Þ¾¢jÇ×x¢¹R0T ¸,Ï0ÓÜÔç@¿ö®ÿé•}WþBüL«õǬ5vÿÿPK!–ÍL¯™drs/shapexml.xml¤TÁnâ0½¯´ÿ`ùºj Y %j¨(»+¡ •ö¼rR;² |ý>;¡¥=­Z0´Ú´Ú<ï=ÏÌÍí¾’d'Œ-µJiÿ2¢D(®óR­Súô8¿¸¦Ä:¦r&µ)=Ko'ß¿ÝÔ‰­ ’•Mê”nœ«“^Ïò�¨˜½ÔµPðÚTÌáhÖ½Ú+”c…*Ù‹£hØ«X©èW©Ýª^oñûÝÒ�2Oé(ECJ«PöAp€XKAbÚëâÚ Í·¶ÃþLnØ ¾ÃA”þe@¥�šz¶A515F¿lË­ÿu{à «T�¥Þw¨�Ò•N ôû”âñ`<Åã«.±�Æ odm Í’}aª¯ÂŸÜ°Dñ¥¯F�—’CJ#_œ%bï‡ç:ŽÇCïâð�Ç‘·=­Bà×bª·¿ÓùÁ'gøÅ›´oýyyÑdo£Í‘ùGAÒq04%æÜ“½ó89ÓÒS"LqÜ“Rî Ú‡% }6mœ.JG ­ÜŠ3‰çGøtüZ>XZ·rtÒ aO#ðiY<"t©˜Yn0‚!w-ÙR嘛–·\cH=k’‹â‘e«c§"D1®�l¡îÌ64²c’ä�î?Õ¹‘â›c°lG�~ÐRªUÍ=*[ó%wdÇpmß+y’ò<âNcOaÈóN wŠs¶½ó,®ófÍLšÇ}6kVÇWs¯‡{ì¡âX¶°.˜Pãai`¢“»™Âd²Ä@ÙmS••~.[QÁ8¥B]<­°× ÞÏ0)Yp¶!MJJøµgÊ-ÚHéU°(Ù ã—dHá »¢ ¬yÈ÷mÈdy¿Ã1cVÈÒ/MH­ôÒh]ÛVn&ÃUQ'¹Çªô¼”²å UPKË2÷†ƒYg�§Õn>ëâi×ÚöXäC+MÀc†ÛAN‹b&-ö.?t8Ò}Gzß|[·›§ýv°Ÿi]µæý­áª~Õ•R—i}‚)ñÿX'ù 7å/êÅ(˜OçÅ ÄîùôzScd ²_¶Í¦ —?ÿÿPK-!Zãfþâ[Content_Types].xmlPK-!1Ý_aÒ� /_rels/.relsPK-!–ÍL¯™*drs/shapexml.xmlPK-!ž{Úý^drs/downrev.xmlPKõeð `pðà ÿÿÿÿ > ðvŸ¨(Turbomolecular Pumps Potential Problems¡))ü*þªðú ð|  ð~ï€p„>�0e‚˜²ƒ0e„˜²…‡ˆ¿ÿ?€Ãˆ¿Rectangle 3ðÞ `pðVà ÿÿÿÿ>ˆ>Š6º___PPT9‹¬€ÿÿ ð¸ Very high speed rotor blades have close-mating stator blades. " Slight imbalances can cause vibration and bearing wear problems. " Sudden blast of atmospheric pressure can bend the blades down, causing catastrophic failure,  crashing the pump.  Lubrication of the high speed rotor is an engineering problem. " Circulating oil is most reliable, but pump must be right-side-up. " Grease-lubricated bearings are less reliable, but allow pump to be placed at any orientation.  Too high of a pressure will cause aerodynamic lift and drag. " Aerodynamic lift can bend blades, causing catastrophic failure.¡]“" ]ðH ð| ƒ ð0�ƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿîìáI}O�½ÀPMÿ€€ˆ‘Љº___PPT10‹ië.Áôǰi*+Dñ='ñ óÿÿÿÿ=ñ @Bñ +îªï € 0 ð ðˆðªð( ð ðˆðr ðˆ S ð€d\g¿ÿðð `ðà g ð žðH ðˆ ƒ ð0�ƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿîìáI}O�½ÀPMÿ€€ˆ8Š0º___PPT10‹ë.€ôÍpXîªï € 0 ðð„ðªð( ð ð„ðr ð„ S ð€˜³G¿ÿð2ù9 ðà  G ð žðH ð„ ƒ ð0�ƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿîìáI}O�½ÀPMÿ€€ˆ8Š0º___PPT10‹ë.~ôÍð4òið\ñ  0 ÜðÔð€ðlð( ð ð€ðX¢ ð€ “ ðNo>‡¿¿ÿ?€Ã¿Rectangle 7ð_� ßðPˆHŠ@º___PPT9‹"¬@ ð‚Ÿ *¡$"  ت¦ ðÔÐðð¸ ð€  ðxï�0e‚˜²ƒ0e„˜²…‡ˆ¿ÿ(?€Ãˆ¿Rectangle 2ð°Ð ðà  >ð ð€  ð~ï€P«>�0e‚˜²ƒ0e„˜²…‡ˆ¿ÿ(?€Ãˆ¿Rectangle 3ð° °0Ððà  > ðNŸ¡ ª ¦ ðÔÐððH ð€ ƒ ð0�ƒ“Þ½h”ŽŸ‹¿ÿ ?ð ÿÿÿîìáI}O�½ÀPMÿ€€ˆ8Š0º___PPT10‹ë.²sÈÀ²ëûrD0Õ�ú ÞÂè€\òüµQCùõ™  èòé(€àà€ òd/È 0ÒÕ˜·DCalibriÈÊ 0„–0Ò©©À¼¤–É 0¤–Õ"·DArialiÈÊ 0„–0Ò©©À¼¤–É 0¤–Õ"¤ €aÿÿ¥ .©  @£nÿý?" dÿd@ÿÿïÿÿÿÿRoot Entryÿÿÿÿÿÿÿÿ��d›Oφꪹ)è­çöÕçôÍK@PicturesÿÿÿÿÿÿÿÿÅCurrent UserÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿMSummaryInformation(ÿÿÿÿ쀀 ˜ð�ð(Œ$H       !"#oðRð$Ì"÷å –Ñ‚#[Š +ÜÜÿ÷Rð$»YO(úü:ýÒuÐÄ­ŠRÊÿh'÷Rð$Å>™+žd�¾Ie(ô 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